PRODUCTS

Technology for Future

Product

SS21S8 (SiH₄)

Electrochemical SiH₄ Sensor (0~20ppm)

SS21S8 是一款电化学式硅烷(SiH₄)气体传感器,可检测 0–20 ppm 的浓度,非常适用于半导体行业中的固定式安全监测设备。

KEY FEATURES
    • 测量范围:0–20 ppm(最大过载:40 ppm)
    • 输出信号:300 ± 150 nA / ppm
    • 响应时间:T90 < 50 秒
    • 分辨率:<0.1 ppm(典型)
    • 重复性:<±5% 信号
    • 长期漂移:每年 <5%
    • 工作温度范围:-20℃ 至 +50℃
    • 使用寿命 ≥24 个月(空气中)
    • 低交叉干扰(对 CO、H₂、NO₂、PH₃ 等)
Product Inquiry

SS21S8 (SiH₄)

电化学式硅烷传感器(0–20ppm)

DESCRIPTION

SS21S8 是一款高灵敏度的电化学式硅烷(SiH₄)气体传感器,测量范围为 0–20 ppm。 输出信号为 300 ± 150 nA/ppm,响应时间小于 50 秒(T90),分辨率低于 0.1 ppm,重复性在 ±5% 以内。 对 H₂、NO₂、PH₃、CO 等干扰气体具有较低的交叉灵敏度,即使在复杂环境中也能保持测量精度。 在空气中使用寿命为 24 个月以上,工作温度范围为 -20℃ 至 +50℃,非常适用于半导体行业的固定式安全监测系统。


主要特点

- 测量范围: 0–20 ppm(最大允许:40 ppm)
- 输出信号: 300 ± 150 nA / ppm
- 响应时间: T90 < 50 秒
- 分辨率: <0.1 ppm(典型值)
- 重复性: 信号误差在 ±5% 以内
- 长期漂移: 每年 <5%
- 工作温度: -20℃ 至 +50℃
- 使用寿命: 空气中 ≥24 个月
- 低交叉灵敏度: 对 CO、H₂、NO₂、PH₃ 等干扰气体反应低


Product Specifications
Performance Characteristics
Output Signal300±150 nA / ppm
Typical Baseline Range (pure air, @ 20°C)≤ ±0.5 ppm HCl equivalent
Response Time (T90)< 50 seconds
FilterNone
Measurement Range0–20 ppm
Maximum Overload40 ppm
LinearityLinear
Repeatability< ±5% of signal
Recommended Load Resistor10 ohms
Resolution (Electronics Dependent)< 0.1 ppm typical
Bias Voltage0 mV
Environmental
Temperature Range Continuous-20°C to +50°C
Pressure Range800 to 1200 mbar
Operating Humidity Range15% to 90% RH
Lifetime
Long Term Output Drift< 5% per annum
Recommended Storage Temp0°C to 20°C
Expected Operating Life> 24 months in air
Standard Warranty24 months from date of dispatch
Intrinsic Safety Data
Maximum at 40 ppm10 μA
Maximum o/c Voltage< 1.0 V
Maximum s/c Current< 0.1 A
Sensor Specifications
Accessories
Download
Datasheet
Download