SS21S8 (SiH₄)
电化学式硅烷传感器(0–20ppm)
DESCRIPTION
SS21S8 是一款高灵敏度的电化学式硅烷(SiH₄)气体传感器,测量范围为 0–20 ppm。 输出信号为 300 ± 150 nA/ppm,响应时间小于 50 秒(T90),分辨率低于 0.1 ppm,重复性在 ±5% 以内。 对 H₂、NO₂、PH₃、CO 等干扰气体具有较低的交叉灵敏度,即使在复杂环境中也能保持测量精度。 在空气中使用寿命为 24 个月以上,工作温度范围为 -20℃ 至 +50℃,非常适用于半导体行业的固定式安全监测系统。
主要特点
- 测量范围: 0–20 ppm(最大允许:40 ppm)
- 输出信号: 300 ± 150 nA / ppm
- 响应时间: T90 < 50 秒
- 分辨率: <0.1 ppm(典型值)
- 重复性: 信号误差在 ±5% 以内
- 长期漂移: 每年 <5%
- 工作温度: -20℃ 至 +50℃
- 使用寿命: 空气中 ≥24 个月
- 低交叉灵敏度: 对 CO、H₂、NO₂、PH₃ 等干扰气体反应低