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SS21S8 硅烷传感器 – 专为半导体安全系统打造的高灵敏 SiH₄ 检测方案
SS21S8 是一款电化学式硅烷（SiH₄）气体传感器，适用于测量 0–20 ppm 的气体浓度。
输出为 300 ± 150 nA/ppm，响应时间小于 50 秒，分辨率优于 0.1 ppm。
该传感器具备优异的重复性（<±5%），长期漂移小于 5%，
并对 H₂、NO₂、PH₃、CO 等干扰气体的敏感度极低，确保在复杂环境下仍能提供准确检测。
其适用于 -20℃ 至 +50℃ 的工作环境，使用寿命超过 24 个月，
是半导体生产线固定式安全检测系统的理想选择。
