PRODUCTS

Technology for Future

Product

SS21P8 (PH₃)

전기화학식 포스핀 센서 (0~5ppm)

SS21P8은 0~5 ppm 범위의 포스핀(PH₃)을 정밀하게 감지할 수 있는 전기화학식 센서로, 반도체 공정 등 산업 안전 분야의 고정형 또는 휴대용 장비에 적합합니다.

KEY FEATURES
    • 측정 범위: 0~5 ppm (최대 허용: 10 ppm)
    • 출력 신호: 1,000 ± 300 nA / ppm
    • 반응 속도: T90 < 20초
    • 해상도: <0.1 ppm (전형값)
    • 반복성: 신호의 ±5% 이하
    • 수명: 공기 중 기준 24개월 이상
    • 작동 온도: -20℃ ~ +50℃
    • 낮은 타가스 간섭 (CO, H₂, NH₃, SO₂ 등)
제품 견적문의

SS21P8 포스핀 센서 – 반도체 생산 및 산업 안전용 고감도 PH₃ 센서

SS21P8은 포스핀(PH₃) 가스를 05 ppm 범위 내에서 고정밀 감지할 수 있는 전기화학식 센서입니다.

출력은 1,000 ± 300 nA/ppm으로, 빠른 반응 속도(T90 < 20초)와 0.1 ppm 이하의 고해상도를 제공합니다.

반복성은 ±5% 이하이며, CO, 수소, 암모니아, 이산화황 등 주요 간섭가스에 반응하지 않아 정확한 측정이 가능합니다.

작동 온도는 -20℃+50℃, 수명은 24개월 이상으로 고정형 및 휴대용 기기에 모두 적용 가능합니다.

특히 반도체 공정과 같은 정밀 환경에서의 안전 모니터링에 최적화된 설계입니다.

제품 스펙

1

센서 스펙
액세서리
다운로드
PDF
Data Sheets
View in More Languages