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SS21S8 실란 센서 – 반도체 공정을 위한 고정밀 SiH₄ 감지 솔루션
SS21S8은 실란(SiH₄)을 0~20 ppm 범위에서 고감도로 감지할 수 있는 전기화학식 센서입니다.
300 ± 150 nA/ppm의 출력 신호와 50초 미만의 반응 속도를 제공하며,
해상도는 0.1 ppm 이하, 반복성은 ±5% 이하로 산업 안전 환경에서 정밀한 측정을 지원합니다.
H₂, NO₂, PH₃, CO 등 다양한 타가스에 대한 교차 감도가 낮아 복잡한 환경에서도 정확성을 유지하며,
공기 중 24개월 이상의 사용 수명과 -20℃ ~ +50℃의 작동 온도 범위를 갖춰 반도체 산업의 고정형 안전 시스템에 최적입니다.
